管道内壁原子层沉积铝薄膜的数值模拟研究 - 第四届高能束加工技术国际学术会议.pdf

论文《管道内壁原子层沉积铝薄膜的数值模拟研究》发表于第四届高能束加工技术国际学术会议，旨在通过数值模拟方法研究管道内壁铝薄膜的沉积过程。该研究分析了气体流动、化学反应及成膜均匀性等关键因素，为优化原子层沉积工艺提供了理论依据和技术支持。

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