注射超声喷雾热分解制备铌酸锂薄膜研究 - 第十三届全国固体薄膜学术会议.pdf

论文《注射超声喷雾热分解制备铌酸锂薄膜研究》介绍了通过注射超声喷雾热分解法制备铌酸锂薄膜的工艺。该方法利用超声波将前驱体溶液雾化，随后在高温下热分解形成薄膜。研究探讨了工艺参数对薄膜结构和性能的影响，为制备高质量铌酸锂薄膜提供了新途径。

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