光辅助MOCVD法制备高质量ZnO薄膜 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议.pdf

查看全部 · 2025-12-14 21:57

论文《光辅助MOCVD法制备高质量ZnO薄膜》介绍了通过光辅助金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术制备高性能ZnO薄膜的方法。该研究利用光照射促进反应过程，提高了薄膜的结晶质量和均匀性。文章探讨了光强、温度等参数对薄膜性能的影响，为制备高质量ZnO材料提供了新思路，具有重要的学术和应用价值。

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