加压MOCVD法生长InN薄膜 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议.pdf

140 0
2025-12-14 21:38 | 查看全部 阅读模式

论文《加压MOCVD法生长InN薄膜》介绍了采用加压金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法制备氮化铟(InN)薄膜的研究。通过优化生长条件,如压力、温度和气体流量,提高了InN薄膜的质量和结晶性能。该研究对改善InN材料的光电特性具有重要意义,为光电器件和微波器件的应用提供了技术支持。

文档为pdf格式,1.1MB,总共3页。
加压MOCVD法生长InN薄膜 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议
文件大小:
1.1 MB
高速下载
2026 资料下载 联系邮件:1991591830#qq.com 浙ICP备2024084428号-1