会议论文《高沉积气压下氢化微晶硅薄膜的高速沉积》发表于第十届中国太阳能光伏会议，探讨了在高沉积气压条件下制备氢化微晶硅薄膜的工艺与性能。该研究旨在提高薄膜沉积速率，同时保持良好质量，对提升太阳能电池效率具有重要意义。
文档为pdf格式，0.25MB，总共5页。
举报
