会议论文《缠绕式射频磁控溅射PET表面沉积SiO2薄膜的研究》介绍了采用缠绕式射频磁控溅射技术在PET基材表面制备SiO2薄膜的方法。研究分析了工艺参数对薄膜性能的影响，探讨了该技术在柔性电子器件中的应用潜力，为新型功能薄膜的制备提供了理论依据和技术支持。
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