会议论文《薄膜楔形压痕脱层试验中的压痕应力》探讨了在薄膜材料中通过楔形压痕技术研究脱层行为的力学分析。该文针对压痕过程中产生的应力分布进行了详细计算与实验验证,为理解薄膜与基底间的界面结合性能提供了重要依据。研究结果对提高薄膜材料的可靠性与耐久性具有重要意义,适用于微电子、涂层技术等领域。
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