蓝宝石衬底双面研磨的材料去除机理研究 - 第六届中日超精密加工技术双边国际学术交流会.pdf

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2026-1-12 18:02 | 查看全部阅读模式

会议论文《蓝宝石衬底双面研磨的材料去除机理研究》探讨了蓝宝石衬底在双面研磨过程中的材料去除机制。该研究通过实验分析，揭示了研磨参数对材料去除率的影响，为提高蓝宝石加工精度和效率提供了理论依据。论文在第六届中日超精密加工技术双边国际学术交流会上发表，促进了中日两国在精密制造领域的技术交流与合作。

文档为pdf格式，0.69MB，总共5页。