MOCVD制备MgZnO薄膜及其紫外光电探测器 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2026-1-12 07:47 | 查看全部 阅读模式

会议论文《MOCVD制备MgZnO薄膜及其紫外光电探测器》介绍了采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法制备MgZnO薄膜,并研究其在紫外光电探测器中的应用。该研究通过优化生长参数,获得了高质量的MgZnO薄膜,表现出良好的光电响应特性。实验结果表明,该材料在紫外区域具有较高的灵敏度和较快的响应速度,为新型紫外探测器的开发提供了理论依据和实验支持。

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MOCVD制备MgZnO薄膜及其紫外光电探测器 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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