会议论文《静电驱动的亚微米悬臂梁谐振器非线性特性分析》探讨了亚微米尺度悬臂梁在静电驱动下的非线性动力学行为。研究通过理论建模与实验验证，分析了谐振器在不同电压激励下的频率响应及非线性效应，为高精度微机电系统设计提供了重要参考。
文档为pdf格式，0.25MB，总共2页。
举报
