采用Al 缓冲层在蓝宝石衬底上合成GaN 多晶薄膜 - 2010中国材料研讨会.pdf

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2026-1-11 06:50 | 查看全部 阅读模式

会议论文《采用Al 缓冲层在蓝宝石衬底上合成GaN 多晶薄膜》发表于2010年中国材料研讨会,研究了利用Al作为缓冲层在蓝宝石衬底上生长GaN多晶薄膜的方法。该方法有效改善了GaN薄膜的晶体质量,降低了缺陷密度,为高性能氮化镓器件的制备提供了新途径。

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采用Al 缓冲层在蓝宝石衬底上合成GaN 多晶薄膜 - 2010中国材料研讨会
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