会议论文《采用Al 缓冲层在蓝宝石衬底上合成GaN 多晶薄膜》发表于2010年中国材料研讨会,研究了利用Al作为缓冲层在蓝宝石衬底上生长GaN多晶薄膜的方法。该方法有效改善了GaN薄膜的晶体质量,降低了缺陷密度,为高性能氮化镓器件的制备提供了新途径。
文档为pdf格式,0.72MB,总共5页。
举报