不同衬底对溶胶凝胶法制备的TiO2薄膜结构的影响 - 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议.pdf

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2026-1-11 12:27 | 查看全部 阅读模式

会议论文《不同衬底对溶胶凝胶法制备的TiO2薄膜结构的影响》探讨了不同衬底材料对TiO2薄膜结构性能的影响。通过溶胶凝胶法在多种衬底上制备TiO2薄膜,研究其晶体结构、表面形貌及光学特性。结果表明,衬底材料显著影响薄膜的结晶度与均匀性,进而影响其应用性能。该研究为TiO2薄膜在光电子器件中的应用提供了理论依据。

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不同衬底对溶胶凝胶法制备的TiO2薄膜结构的影响 - 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议
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