会议论文《衬底温度对MOCVD生长ZnO_GaN_Al2O3外延薄膜的性能影响》探讨了不同衬底温度对三元复合外延薄膜结构和光电性能的影响。研究结果表明，衬底温度显著影响薄膜的结晶质量与光学特性，为优化ZnO/GaN/Al2O3异质结器件性能提供了重要参考。
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