会议论文《ICP-AES法测定三氯氢硅中微量元素B的含量》发表于第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议。该文介绍了利用电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP-AES）对三氯氢硅中的微量硼元素进行定量分析的方法。研究旨在提高检测精度，确保半导体材料的纯度与性能，为硅材料的生产与应用提供可靠的数据支持。
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