会议论文《CMOS兼容的微机械热电堆红外探测器阵列研究》探讨了基于CMOS工艺的微机械热电堆红外探测器阵列的设计与实现。该研究旨在提高红外探测器的集成度与性能，同时降低制造成本。通过优化结构设计与材料选择，实现了高灵敏度与良好均匀性的探测器阵列。该成果为低成本、高性能的红外成像系统提供了技术支撑。
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