利用MEMS技术的乙炔传感器研究 - 第十三届中国湿度与水分学术交流会、第十一届中国气湿敏传感技术学术交流会、2010年国防科技工业热工流量技术交流会.pdf

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2026-1-11 01:50 | 查看全部 阅读模式

会议论文《利用MEMS技术的乙炔传感器研究》介绍了基于MEMS技术的乙炔气体传感器的设计与实验。该研究结合微机电系统优势,提高了传感器的灵敏度和响应速度,适用于煤矿等危险环境中的气体监测。论文在第十三届中国湿度与水分学术交流会、第十一届中国气湿敏传感技术学术交流会及2010年国防科技工业热工流量技术交流会上发表,展示了MEMS技术在气体检测领域的应用前景。

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利用MEMS技术的乙炔传感器研究 - 第十三届中国湿度与水分学术交流会、第十一届中国气湿敏传感技术学术交流会、2010年国防科技工业热工流量技术交流会
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