会议论文《一种原子力显微镜中蠕变迟滞非线性特性补偿方案》针对原子力显微镜在高精度测量中的非线性问题，提出了一种有效的补偿方法。该研究通过分析蠕变和迟滞效应的机理，设计了相应的控制策略，提升了测量精度与稳定性。文章为提高原子力显微镜的性能提供了理论支持和技术参考，对微纳尺度测量领域具有重要意义。
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