会议论文《不同阳极键合结果的影响因素研究》探讨了阳极键合过程中影响键合质量的关键因素。文章分析了电压、温度、时间及材料特性对键合效果的影响，提出了优化参数的建议。研究对于提高微电子器件的可靠性具有重要意义，为相关领域的技术发展提供了理论支持。
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