碳硅共掺p型氮化铝晶体结构及光学性能研究 - 第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议.pdf

论文《碳硅共掺p型氮化铝晶体结构及光学性能研究》探讨了通过碳和硅共同掺杂制备p型氮化铝材料的可行性。研究分析了掺杂后晶体结构的变化及其对光学性能的影响，为开发高性能光电器件提供了理论依据和技术支持。

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