会议论文《金属气相沉积法生长氧化锌的电学性质研究》探讨了通过金属气相沉积法制备氧化锌薄膜的电学性能。研究分析了不同工艺参数对材料电导率、载流子浓度及迁移率的影响，为氧化锌在光电器件中的应用提供了理论依据和技术支持。
文档为pdf格式，0.83MB，总共5页。
举报
