立式HVPE反应器生长GaN模拟研究 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2026-1-12 17:15 | 查看全部 阅读模式

会议论文《立式HVPE反应器生长GaN模拟研究》发表于第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议。该研究通过数值模拟方法,分析了立式氢化物气相外延(HVPE)反应器中氮化镓(GaN)的生长过程,探讨了温度场、气体流动及反应动力学对晶体质量的影响,为优化GaN生长工艺提供了理论依据和技术支持。

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立式HVPE反应器生长GaN模拟研究 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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