自支撑GaN厚膜的制备及其光学性能的研究 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2026-1-12 17:53 | 查看全部 阅读模式

会议论文《自支撑GaN厚膜的制备及其光学性能的研究》介绍了通过特定工艺制备自支撑GaN厚膜的方法,并对其光学性能进行了系统分析。研究结果表明,所制备的GaN厚膜具有良好的晶体质量和优异的光学特性,为光电器件的应用提供了新的材料基础。

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自支撑GaN厚膜的制备及其光学性能的研究 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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