平面靶直流溅射制备YBCO高温超导薄膜研究 - 第十届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会.pdf

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2026-1-12 13:28 | 查看全部 阅读模式

会议论文《平面靶直流溅射制备YBCO高温超导薄膜研究》探讨了利用平面靶直流溅射技术制备YBCO高温超导薄膜的工艺与性能。研究分析了不同工艺参数对薄膜结构和电学性能的影响,旨在优化制备方法,提高薄膜质量与超导性能。该成果为高温超导材料的应用提供了理论支持和技术参考,具有重要的学术价值和应用前景。

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平面靶直流溅射制备YBCO高温超导薄膜研究 - 第十届全国超导薄膜和超导电子器件学术研讨会
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