本文介绍了工作气压对ZrB2_W纳米多层薄膜结构和机械性能的影响。通过实验研究,分析了不同气压条件下薄膜的微观结构变化及其硬度、弹性模量等机械性能。结果表明,工作气压显著影响薄膜的致密性和晶粒尺寸,进而改变其力学行为。该研究为优化纳米多层薄膜的制备工艺提供了理论依据。
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