会议论文《从ITRS2007看微电子计量的发展》是在第一届中国微电子计量与测试技术研讨会上发表的重要文章。该文分析了ITRS2007对微电子领域计量技术的影响，探讨了先进制程下计量方法的挑战与发展方向。文章强调了高精度、高可靠性计量技术在半导体产业中的关键作用，为我国微电子计量技术的提升提供了理论依据和实践指导。
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