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低成本材料MEMS梁结构仿真开发与制备流程 - 第十五届全国复合材料学术会议.pdf

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会议论文《低成本材料MEMS梁结构仿真开发与制备流程》发表于第十五届全国复合材料学术会议，探讨了利用低成本材料构建MEMS梁结构的仿真与制备方法。文章介绍了基于有限元分析的仿真流程，并结合实验验证了结构性能。研究旨在降低MEMS器件的制造成本，提升其在工业与科研领域的应用潜力。

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低成本材料MEMS梁结构仿真开发与制备流程 - 第十五届全国复合材料学术会议.pdf

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制备, 复合材料, 低成本, 仿真, 十五届

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