会议论文《聚酰亚胺牺牲层工艺的微机械加工技术研究》探讨了利用聚酰亚胺作为牺牲层材料在微机械加工中的应用。该研究针对微结构制造中的关键工艺问题，提出了优化的沉积与刻蚀方案，提高了器件的精度与可靠性。论文为中国微米纳米技术学会第十一届学术年会提供了重要的技术参考，推动了微机电系统的发展。
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