会议论文《超精密光学陶瓷磨削表面亚表面损伤测量方法研究》由中国微米纳米技术学会第十一届学术年会发表。该文针对光学陶瓷材料在超精密磨削过程中产生的亚表面损伤问题，提出了一种有效的测量方法，旨在提高加工精度与表面质量。研究结合了先进检测技术与分析手段，为光学元件制造提供了理论支持与实践指导。
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