新型驻波模式的声表面波MEMS-IDT陀螺仪 - 第11届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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2026-1-11 18:13 | 查看全部 阅读模式

会议论文《新型驻波模式的声表面波MEMS-IDT陀螺仪》介绍了基于声表面波(SAW)技术的新型MEMS陀螺仪设计。该研究采用驻波模式,通过优化IDT(叉指换能器)结构,提高了陀螺仪的灵敏度与稳定性。论文展示了实验结果与性能分析,表明该陀螺仪在微型化与低功耗方面具有显著优势,为未来惯性传感系统提供了新思路。

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新型驻波模式的声表面波MEMS-IDT陀螺仪 - 第11届全国敏感元件与传感器学术会议
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