会议论文《微型气体传感器之设计与制作》发表于中国微米纳米技术学会第十一届学术年会。该文探讨了微型气体传感器的设计原理与制作工艺，重点介绍了基于微机电系统（MEMS）技术的传感器结构优化及性能提升方法。研究旨在提高传感器的灵敏度与响应速度，同时实现小型化与低功耗，具有广泛的应用前景。
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