微型及超微型压力传感器的开发 - 第11届全国敏感元件与传感器学术会议.pdf

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2026-1-11 17:32 | 查看全部 阅读模式

会议论文《微型及超微型压力传感器的开发》发表于第11届全国敏感元件与传感器学术会议,探讨了当前微机电系统(MEMS)技术在压力传感器领域的应用与发展。文章介绍了新型微型化设计方法,提升了传感器的灵敏度与响应速度,同时降低了功耗与体积,适用于医疗、工业控制等高精度测量场景。

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微型及超微型压力传感器的开发 - 第11届全国敏感元件与传感器学术会议
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