微机电磁场传感器发展综述 - 2009年全国第二届电磁材料及器件学术会议.pdf

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2026-1-11 17:31 | 查看全部 阅读模式

会议论文《微机电磁场传感器发展综述》介绍了微机电系统(MEMS)在磁场传感领域的应用与发展。文章回顾了相关技术的历史演变,分析了当前主流的传感器结构与工作原理,并探讨了其在不同领域的潜在应用。作者还指出了该领域面临的技术挑战与未来发展方向,为后续研究提供了重要参考。

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微机电磁场传感器发展综述 - 2009年全国第二届电磁材料及器件学术会议
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