会议论文《微型电场传感器的结构释放过程中粘连现象的控制方法》探讨了在微型电场传感器制造中，结构释放过程中常见的粘连问题及其解决策略。文章针对微机电系统（MEMS）制造中的关键工艺环节，提出有效的控制方法，以提高器件的良率和性能。该研究为提升微型传感器的可靠性提供了理论支持和技术参考，适用于敏感元件与传感器领域的相关应用。
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