会议论文《微波同轴表面波等离子体镀膜设备》发表于第六届华东三省一市真空学术交流会。该文介绍了基于微波同轴结构的表面波等离子体镀膜技术，探讨了其在薄膜制备中的应用与优势。通过优化设备结构，提高了等离子体的均匀性和稳定性，为高效、高质量镀膜提供了新思路。
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