基于电流致重结晶的Poly-Si纳米薄膜电阻电学修正特性 - 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会.pdf

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2026-1-11 15:52 | 查看全部 阅读模式

会议论文《基于电流致重结晶的Poly-Si纳米薄膜电阻电学修正特性》探讨了在电流作用下,多晶硅纳米薄膜电阻的电学性能变化。研究通过实验分析了电流引起的重结晶过程对电阻特性的影响,揭示了其在微电子器件中的潜在应用价值。该成果为提高半导体器件的稳定性和可靠性提供了理论支持。

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基于电流致重结晶的Poly-Si纳米薄膜电阻电学修正特性 - 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
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