会议论文《柔性电热微夹钳的UV-LIGA制作工艺研究》探讨了基于UV-LIGA技术制造柔性电热微夹钳的工艺方法。该研究针对微电子器件的精密操作需求，提出了一种高精度、低成本的微结构加工方案。通过优化光刻与电镀参数，实现了微夹钳的高良率制备，为微型机器人和生物医学应用提供了技术支持。
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