本文研究了氮气掺入量对a-CNzH薄膜结构、力学及摩擦学性能的影响。通过改变沉积过程中的氮气比例，分析了薄膜的微观结构变化，并测试了其硬度、弹性模量以及摩擦磨损特性。结果表明，适当增加氮气含量可优化薄膜的力学性能，同时改善其摩擦学行为，为高性能涂层材料的开发提供了理论依据。
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