会议论文《收集环境振动能微压电悬臂梁的制作工艺与测试》介绍了用于能量收集的微压电悬臂梁的设计、制作工艺及性能测试。文章详细描述了微加工技术在制造过程中的应用,以及如何通过实验评估其在不同振动条件下的发电效率。该研究对微型传感器和无线传感网络的自供电系统具有重要参考价值。
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