会议论文《支持层结构对薄膜体声波谐振器谐振特性的影响》探讨了不同支持层结构对薄膜体声波谐振器性能的影响。研究通过实验与仿真分析,揭示了支持层材料和厚度对谐振频率及品质因数的作用机制。该成果为优化谐振器设计提供了理论依据,有助于提升器件的性能与稳定性。
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