会议论文《辉光功率对退火后微晶硅薄膜微结构的影响》探讨了不同辉光功率对退火后微晶硅薄膜结构特性的影响。研究通过实验分析，揭示了辉光功率变化如何影响薄膜的晶粒尺寸、结晶度及缺陷密度。该成果为优化微晶硅薄膜制备工艺提供了理论依据，对提升薄膜性能具有重要意义。
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