AlGaN薄膜的MOCVD生长及P型掺杂研究 - 第六届中国国际半导体照明论坛(CHINASSL 2009).pdf

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会议论文《AlGaN薄膜的MOCVD生长及P型掺杂研究》发表于第六届中国国际半导体照明论坛(CHINASSL 2009)。该研究探讨了AlGaN薄膜在MOCVD(金属有机化学气相沉积)过程中的生长特性,并重点分析了P型掺杂技术对材料性能的影响,为高亮度LED和紫外光源的发展提供了重要参考。

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AlGaN薄膜的MOCVD生长及P型掺杂研究 - 第六届中国国际半导体照明论坛(CHINASSL 2009)
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