DBD-CVD法制备掺氮二氧化钛薄膜及其结构性能研究 - 第六届华东三省一市真空学术交流会.pdf

会议论文《DBD-CVD法制备掺氮二氧化钛薄膜及其结构性能研究》介绍了采用介质阻挡放电化学气相沉积技术制备掺氮二氧化钛薄膜的方法。文章研究了薄膜的结构特性与性能，分析了氮元素对材料光学和电学性质的影响，为新型功能材料的开发提供了理论依据和技术支持。

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