非晶硅薄膜中微晶的产生与晶化 - 第十二届全国固体薄膜会议.pdf

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2026-1-11 07:13 | 查看全部 阅读模式

会议论文《非晶硅薄膜中微晶的产生与晶化》探讨了非晶硅薄膜在特定条件下形成微晶的过程及其晶化机制。研究通过实验分析,揭示了温度、时间及退火环境对微晶生长的影响,为提高非晶硅薄膜的性能提供了理论依据。该文对半导体材料的制备与应用具有重要参考价值。

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非晶硅薄膜中微晶的产生与晶化 - 第十二届全国固体薄膜会议
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