会议论文《电子束光刻加工圆形阵列图形的新方法》发表于第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议。该文提出一种创新的电子束光刻技术，用于高效加工圆形阵列图形，提高了加工精度与效率。研究针对传统方法在复杂图形加工中的局限性，通过优化光刻参数与工艺流程，实现了更高质量的微结构制造，对半导体器件的微型化发展具有重要意义。
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