会议论文《两步湿氧法制备硅微尖阵列工艺研究》介绍了利用两步湿氧法在硅基上制备微尖阵列的工艺过程。该方法通过控制氧化条件，实现对硅表面形貌的精确调控，从而获得高密度、均匀的微尖结构。研究为微电子和传感器领域提供了新的制造思路，具有重要的应用价值。
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