会议论文《两步湿氧法制备硅微尖阵列工艺研究》发表于2009年四川省电子学会半导体与集成技术专委会学术年会。该文探讨了利用两步湿氧法在硅基底上制备微尖阵列的工艺流程，旨在提高微结构的均匀性和可控性。研究对氧化温度、时间等参数进行了优化，为微电子器件的制造提供了新思路。
文档为pdf格式，0.63MB，总共3页。
举报
