光刻胶热熔法制作异形孔径微透镜阵列研究 - 全国第14次光纤通信暨第15届集成光学学术会议.pdf

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2026-1-11 13:14 | 查看全部 阅读模式

会议论文《光刻胶热熔法制作异形孔径微透镜阵列研究》探讨了利用光刻胶热熔技术制备异形孔径微透镜阵列的方法。该研究针对传统工艺的局限性,提出了一种新型的加工方案,提高了微透镜的精度与一致性。通过实验验证了该方法在结构设计与成形质量方面的优势,为光学器件的微型化提供了新思路。

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光刻胶热熔法制作异形孔径微透镜阵列研究 - 全国第14次光纤通信暨第15届集成光学学术会议
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