会议论文《浸没式光刻机浸液控制技术研究》发表于第六届全国流体传动与控制学术会议。该文针对浸没式光刻机中浸液系统的控制问题进行深入探讨，分析了浸液流动特性及对成像精度的影响，提出了一种高效的浸液控制方法，旨在提升光刻工艺的稳定性和分辨率，对微电子制造技术的发展具有重要意义。
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