氧在AlN非极性面的吸附结构与电子性质 - 第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2026-1-11 04:40 | 查看全部 阅读模式

会议论文《氧在AlN非极性面的吸附结构与电子性质》探讨了氧原子在AlN非极性面上的吸附行为及其对材料电子性质的影响。研究通过理论计算分析了不同吸附位点的稳定性与电子结构变化,揭示了氧吸附对AlN表面能带结构和电荷分布的调控作用,为AlN基器件的表面工程提供了理论依据。

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氧在AlN非极性面的吸附结构与电子性质 - 第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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