含硅碱溶性光敏预聚物的合成 - 2010第十一届中国辐射固化年会.pdf

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2026-1-11 02:13 | 查看全部 阅读模式

会议论文《含硅碱溶性光敏预聚物的合成》发表于2010年第十一届中国辐射固化年会。该文介绍了新型含硅碱溶性光敏预聚物的合成方法,通过引入硅氧烷结构,提高了材料的碱溶性和光敏性能。研究结果表明,该预聚物在紫外光照射下具有良好的固化效果,适用于高精度光刻工艺。论文对光敏材料的开发与应用提供了理论依据和技术支持。

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含硅碱溶性光敏预聚物的合成 - 2010第十一届中国辐射固化年会
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